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[ 和図書 ] プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 2F 一般図書 /501.4/5285/2017 7108556220 配架図 Digital BookShelf
2017/02/21 可能 利用可   0
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ISBN 4-627-77561-9
ISBN13桁 978-4-627-77561-9
タイトル プラズマプロセス技術
タイトルカナ プラズマ プロセス ギジュツ
タイトル関連情報 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
タイトル関連情報読み ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
著者名 プラズマ・核融合学会 ／編
著者名典拠番号

210000206770000

出版地 東京
出版者 森北出版
出版者カナ モリキタ シュッパン
出版年 2017.1
ページ数 7, 273p
大きさ 22cm
価格 ¥5600
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
書誌・年譜・年表 文献:章末
一般件名 工業材料-00566211-ndlsh,プラズマ-ndlsh-00569207,ナノテクノロジー-00907854-ndlsh
一般件名カナ コウギョウザイリョウ-00566211,プラズマ-00569207,ナノテクノロジー-00907854
一般件名 材料科学 , プラズマ物理学
一般件名カナ ザイリョウ カガク,プラズマ ブツリガク
一般件名典拠番号

511851700000000 , 510345500000000

分類：都立NDC10版 501.4
資料情報1 『プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー』　プラズマ・核融合学会／編 　森北出版　2017.1（所蔵館：中央　 請求記号：/501.4/5285/2017　 資料コード：7108556220）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152945551

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