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[ 和図書 ] ドライプロセス表面処理大全 ( 技術大全シリーズ )

関東学院大学材料・表面工学研究所／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2019.3 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 2F 一般図書 /566.7/5070/2019 7111580002 配架図 Digital BookShelf
2019/04/23 可能 利用可   0
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ISBN 4-526-07968-9
ISBN13桁 978-4-526-07968-9
タイトル ドライプロセス表面処理大全
タイトルカナ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所 ／編
著者名典拠番号

210001531820000

出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2019.3
ページ数 285p
大きさ 21cm
シリーズ名 技術大全シリーズ
シリーズ名のルビ等 ギジュツ タイゼン シリーズ
価格 ¥3000
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
書誌・年譜・年表 文献:p271～276
一般件名 金属表面処理-00565907-ndlsh
一般件名カナ キンゾクヒョウメンショリ-00565907
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
一般件名カナ キンゾク ヒョウメン ショリ,ハクマク
一般件名典拠番号

510384100000000 , 511306800000000

分類：都立NDC10版 566.7
資料情報1 『ドライプロセス表面処理大全』（技術大全シリーズ）　関東学院大学材料・表面工学研究所／編 　日刊工業新聞社　2019.3（所蔵館：中央　 請求記号：/566.7/5070/2019　 資料コード：7111580002）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1153341805

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