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    清水完治
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[ 和図書 ] 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 ( 新材料・新素材シリーズ )

益 一哉／監修 -- シーエムシー出版 -- 2019.4 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 2F 一般図書 /530.0/5049/2019 7111601837 配架図 Digital BookShelf
2019/05/07 可能 利用可   0
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ISBN 4-7813-1364-1
ISBN13桁 978-4-7813-1364-1
タイトル 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
タイトルカナ イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ
タイトル関連情報 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
タイトル関連情報読み メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
著者名 益 一哉 ／監修, 年吉 洋 ／監修, 町田 克之 ／監修
著者名典拠番号

110006305980000 , 110006305990000 , 110006306000000

並列タイトル Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices:Basics and Applications
特殊な版表示 普及版
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版者カナ シーエムシー シュッパン
出版年 2019.4
ページ数 9, 279p
大きさ 26cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
シリーズ名のルビ等 シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
価格 ¥6700
内容紹介 微細化技術の追求とともに、新たな技術開発軸として期待される「異種機能集積」。基礎から応用技術まで、異種機能集積化技術を体系的に解説。種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術を紹介する。
一般件名 集積回路-ndlsh-00572448
一般件名カナ シュウセキカイロ-00572448
一般件名 マイクロマシン
一般件名カナ マイクロマシン
一般件名典拠番号

510237800000000

分類：都立NDC10版 530
資料情報1 『異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合』（新材料・新素材シリーズ）　益 一哉／監修, 年吉 洋／監修 , 町田 克之／監修　シーエムシー出版　2019.4（所蔵館：中央　 請求記号：/530.0/5049/2019　 資料コード：7111601837）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1153345922

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