資料詳細

[ 和図書 ] はじめての半導体ドライエッチング技術 ( 現場の即戦力 )

野尻一男／著 -- 技術評論社 -- 2020.11 -- 改訂版

所蔵

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ISBN	4-297-11599-9
ISBN13桁	978-4-297-11599-9
タイトル	はじめての半導体ドライエッチング技術
タイトルカナ	ハジメテノハンドウタイドライエッチングギジュツ
著者名	野尻一男／著
著者名典拠番号	110006101340000
版表示	改訂版
出版地	東京
出版者	技術評論社
出版者カナ	ギジュツヒョウロンシャ
出版年	2020.11
ページ数	10, 188p
大きさ	21cm
シリーズ名	現場の即戦力
シリーズ名のルビ等	ゲンバノソクセンリョク
価格	¥2480
内容紹介	ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
書誌・年譜・年表	文献:章末
一般件名	半導体-ndlsh-00562913
一般件名	半導体
一般件名カナ	ハンドウタイ
一般件名典拠番号	511311800000000
分類：都立NDC10版	549.8
資料情報1	『はじめての半導体ドライエッチング技術』（現場の即戦力）改訂版　野尻一男／著　技術評論社　2020.11（所蔵館：中央　請求記号：/549.8/5237/2020　資料コード：7113527292）
URL	https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1153707734