| ISBN |
4-905507-25-3
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| ISBN13桁 |
978-4-905507-25-3
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| タイトル |
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
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| タイトルカナ |
レジスト ザイリョウ ・ プロセス ノ ツカイカタ ノウハウ ト トラブル カイケツ
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| 著者名 |
河合晃
/著
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| 著者名典拠番号 |
110005705110000
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| 出版地 |
東京
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| 出版者 |
R&D支援センター
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| 出版者カナ |
R アンド D シエン センター
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| 出版年 |
2018.3
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| ページ数 |
185p
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| 大きさ |
26cm
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| 価格 |
45000円
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| 書誌・年譜・年表 |
文献あり
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| 一般件名 |
感光性樹脂-00576718-ndlsh,リソグラフィー-00576369-ndlsh
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| 一般件名カナ |
カンコウセイジュシ-00576718,リソグラフィー-00576369
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| 分類:都立NDC10版 |
578.4
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| 資料情報1 |
『海外の教育改革』(放送大学大学院教材)改訂版 坂野 慎二/編著,
藤田 晃之/編著
放送大学教育振興会 2021.3(所蔵館:中央
請求記号:/373.1/5217/2021
資料コード:7114429723)
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| URL |
https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152820843 |