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[ 和図書 ] フォトレジストの最先端技術 ( エレクトロニクスシリーズ )

遠藤政孝／監修 -- シーエムシー出版 -- 2022.9 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 2F 一般図書 /578.4/5431/2022 7116059087 配架図 Digital BookShelf
2023/01/31 可能 利用可   0

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ISBN 4-7813-1679-6
ISBN13桁 978-4-7813-1679-6
タイトル フォトレジストの最先端技術
タイトルカナ フォトレジスト ノ サイセンタン ギジュツ
著者名 遠藤政孝 ／監修
著者名典拠番号

011510014210000

並列タイトル Leading edge technologies of photoresist
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版者カナ シーエムシー シュッパン
出版年 2022.9
ページ数 345 p
大きさ 26 cm
シリーズ名 エレクトロニクスシリーズ
シリーズ名のルビ等 エレクトロニクス シリーズ
一般注記 機器種別 : 機器不用
価格 67000円
一般件名 感光性樹脂-ndlsh-00576718,リソグラフィー-ndlsh-00576369
一般件名カナ カンコウセイジュシ,リソグラフィー
分類：都立NDC10版 578.4
資料情報1 『フォトレジストの最先端技術』（エレクトロニクスシリーズ）　遠藤政孝／監修 　シーエムシー出版　2022.9（所蔵館：中央　 請求記号：/578.4/5431/2022　 資料コード：7116059087）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1154073593

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