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[ 和図書 ] EUVリソグラフィ技術 レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状

渡邊健夫／監修 -- AndTech -- 2023.5 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 2F 一般図書 /549.7/5133/2023 7116868132 配架図 Digital BookShelf
2023/10/10 可能 利用可   0
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ISBN 4-909118-56-1
ISBN13桁 978-4-909118-56-1
タイトル EUVリソグラフィ技術
タイトルカナ EUV リソグラフィ ギジュツ
タイトル関連情報 レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状
タイトル関連情報読み レジスト ザイリョウ コウゲン ロコウ ソウチ ギジュツ カクシュ コウセイ ノ ヘンカン ト ゲンジョウ
著者名 渡邊健夫 ／監修
著者名典拠番号

011510162130000

出版地 川崎
出版者 AndTech
出版者カナ And Tech
出版年 2023.5
ページ数 193p
大きさ 26cm
価格 40000
一般件名 リソグラフィー
一般件名カナ リソグラフィー
分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『EUVリソグラフィ技術 レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状』　渡邊健夫／監修 　AndTech　2023.5（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5133/2023　 資料コード：7116868132）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1154193020

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