| ISBN |
4-86345-578-8
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| ISBN13桁 |
978-4-86345-578-8
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| タイトル |
超LSI共同研究所とその波及
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| タイトルカナ |
チョウエルエスアイ キョウドウ ケンキュウジョ ト ソノ ハキュウ
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| タイトル関連情報 |
日本半導体製造装置・材料を世界一にしたプロジェクト
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| タイトル関連情報読み |
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ザイリョウ オ セカイイチ ニ シタ プロジェクト
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| 著者名 |
垂井 康夫
／監修,
超LSI共同研究所元所員
／著
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| 著者名典拠番号 |
110000640000000
,
210001701100000
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| 出版地 |
東京,東京
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| 出版者 |
丸善プラネット,丸善出版(発売)
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| 出版者カナ |
マルゼン プラネット
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| 出版年 |
2025.3
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| ページ数 |
17, 243p
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| 大きさ |
21cm
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| 価格 |
¥1500
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| 内容紹介 |
1975年から1980年3月まで、将来の超LSIを作る基礎的共通的な製造装置の開発を行った超LSI共同研究所。設立前夜と研究の成果、その分野のその後などを解説する。
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| 一般件名 |
集積回路
,
超LSI共同研究所
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| 一般件名カナ |
シュウセキ カイロ,チョウエルエスアイ キョウドウ ケンキュウジョ
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| 一般件名典拠番号 |
510919900000000
,
210001599740000
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| 分類：都立NDC10版 |
549.7
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| テキストの言語 |
日本語
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| 資料情報1 |
『超LSI共同研究所とその波及
日本半導体製造装置・材料を世界一にしたプロジェクト』 垂井 康夫／監修,
超LSI共同研究所元所員／著
丸善プラネット 2025.3（所蔵館：中央
請求記号：/549.7/5139/2025
資料コード：7119041451）
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| URL |
https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1154738612 |
