| ISBN |
4-911146-09-5
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| ISBN13桁 |
978-4-911146-09-5
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| タイトル |
エッチングの高度化と3次元構造の作製技術
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| タイトルカナ |
エッチング ノ コウドカ ト 3ジゲン コウゾウ ノ サクセイ ギジュツ
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| 出版地 |
東京
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| 出版者 |
S&T出版
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| 出版者カナ |
S アンド T シュッパン
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| 出版年 |
2025.3
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| ページ数 |
10, 211 p
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| 大きさ |
30 cm
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| 一般注記 |
表現種別 : テキスト
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| 価格 |
60000円
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| 書誌・年譜・年表 |
文献あり
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| 一般件名 |
電子部品-ndlsh-00561429,ナノテクノロジー-ndlsh-00907854,表面 (工学)-ndlsh-00563858
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| 一般件名カナ |
デンシブヒン,ナノテクノロジー,ヒョウメン (コウガク)
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| 一般件名 |
リソグラフィー
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| 一般件名カナ |
リソグラフィー
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| 分類：都立NDC10版 |
549.8
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| テキストの言語 |
日本語
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| 資料情報1 |
『エッチングの高度化と3次元構造の作製技術』
S&T出版 2025.3（所蔵館：中央
請求記号：D/549.8/5459/2025
資料コード：7119119044）
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| URL |
https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1154740462 |
